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七星华创 微控扩散系统

品牌:七星华创
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七星华创 微控扩散系统产品介绍

产品介绍:


设备应用于大规模集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域,适用2~6英寸工艺尺寸。


描述:


1.关键件全部采用进口件,具有高可靠性。
2.采用高可靠性工业控制微机,对炉温、阀门、送料装置的进舟、退舟、停舟进行全自动控制,全部工艺过程实现自动化,具有高抗干扰能力。
3.具有良好的人机界面,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺参数。
4.具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置。
5.具有多种报警功能及安全保护功能。
6.具有强大的软件功能,配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间。
产品选型详见订货须知。

七星华创 微控扩散系统技术参数

产品参数工艺管外径:可配2~6英寸工作温度范围:400~1300℃恒温区长度及精度:600~1250℃ 760mm/±0.5℃单点温度稳定性:600~1250℃ ±0.5℃/24h最大可控升温速度:15℃/min最大降温速度:5℃/min

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