七星华创 超高温退火炉

产品介绍：

设备应用于大规模集成电路、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，适用2"～8"硅片退火、氧化、扩散、预沉积等工艺。

描述：

1.关键件全部采用进口件，具有高可靠性。
2.采用高可靠性工业控制微机，对炉温、阀门、送料装置的进舟、退舟、停舟进行全自动控制，全部工艺过程实现自动化，具有高抗干扰能力。
3.具有良好的人机界面，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺参数。
4.具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。
5.具有多种报警功能及安全保护功能。
6.具有强大的软件功能，配有故障自诊断软件，可大大节省维修时间。
产品选型详见订货须知。