海德汉 敞开式直线光栅尺

高精度纳米级开放式直线光栅尺LIP200系列：主要应用于半导体制造设备、齿
轮测量设备、高精密加工机床等，具有超高精度(±1 μm)、高分辨率(~31.25 pm)，低细分误差，移动速度3m/s、玻璃或玻璃陶瓷基体、刻线参考点，测量长度可达到3m，易于安装等特点。

温度稳定性好的敞开式直线光栅尺LIDA 403系列：刻线的基体为玻璃或玻璃陶瓷，主要应用于坐标测量机、自动化生产线或与直线电机配合等，具有很好的温度稳定性、较快的移动速度、较高的精度和允许较大的安装误差等特点。