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海德汉 敞开式增量直线光栅尺LIDA 400产品介绍
用于高速运动和大测量范围
应用
• 半导体工业生产和检测设备
• PCB电路板组装机
• 测量机
特点
• 运动速度快
• 测量长度大
• 安装公差大
• 限位开关
• 多种型号可供选择
技术参数
• 钢带，玻璃或玻璃陶瓷基体的METALLUR光栅
• 信号周期 20 µm
• 测量步距 至0.05 µm
• 精度等级 至± 5 µm
• 典型位置误差
单信号周期内 ± 0.2 µm
• 测量长度 至30 m
• 接口 1 VPP或TTL
应用
• 半导体工业生产和检测设备
• PCB电路板组装机
• 测量机
特点
• 运动速度快
• 测量长度大
• 安装公差大
• 限位开关
• 多种型号可供选择
技术参数
• 钢带，玻璃或玻璃陶瓷基体的METALLUR光栅
• 信号周期 20 µm
• 测量步距 至0.05 µm
• 精度等级 至± 5 µm
• 典型位置误差
单信号周期内 ± 0.2 µm
• 测量长度 至30 m
• 接口 1 VPP或TTL
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| 电话： | 010-80420000 |
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