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海德汉 敞开式绝对直线光栅尺LIC 4000产品介绍
精度高和测量范围大
应用
• 半导体工业的测量和生产设备
• PCB电路板组装机
• 测量机
• 直接驱动
特点
• 大测量范围的绝对位置值
• 高分辨率
• 结构紧凑
• 安装和诊断简单
技术参数
• 有绝对刻轨的METALLUR钢带
• 分辨率 最小至0.001 µm（1 nm）
• 精度等级 达± 5 µm
• 典型位置误差
单信号周期内 ± 0.08 µm
• 测量长度 至27 m
• 运动速度 至8 m/s
• 接口 EnDat 2.2
应用
• 半导体工业的测量和生产设备
• PCB电路板组装机
• 测量机
• 直接驱动
特点
• 大测量范围的绝对位置值
• 高分辨率
• 结构紧凑
• 安装和诊断简单
技术参数
• 有绝对刻轨的METALLUR钢带
• 分辨率 最小至0.001 µm（1 nm）
• 精度等级 达± 5 µm
• 典型位置误差
单信号周期内 ± 0.08 µm
• 测量长度 至27 m
• 运动速度 至8 m/s
• 接口 EnDat 2.2
联系海德汉
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| 电话： | 010-80420000 |
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