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运动控制 - 光栅尺 - 海德汉

海德汉敞开式增量直线光栅尺 LIF 400

品牌：海德汉

生产商：海德汉中国

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海德汉敞开式增量直线光栅尺 LIF 400产品介绍

        精度高和安装简单
        应用
        • 半导体后端生产设备
        • 计量仪器
        特点
        • 紧凑型读数头和光栅尺
        • PRECIMET背胶固定，安装简单
        • 抗污染能力较强
        • 限位开关和回零轨
        技术参数
        • 玻璃基体或Zerodur玻璃陶瓷基体的
        SUPRADUR相位光栅
        • 信号周期 4 µm
        • 精度等级 ± 3 µm
        • 典型位置误差
        单信号周期内 ± 0.04 µm
        • 测量长度至1 020 mm
        • 接口 1 VPP或TTL

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