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日机 NIKKI XYθ三轴系统

品牌:日机
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日机 NIKKI XYθ三轴系统产品介绍

日机 NIKKI XYθ三轴系统技术参数

X轴Y轴定位能力:0.1~5um最大移动速度:3.5m/s旋转轴编码器最高分辨率:3,600,000ppr

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