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北京机床所 GS12光栅线位移测量系统
测量系统:光栅周期：20μm（0.020mm）的光学玻璃尺 光学测量系统:透射式红外线光学测量系统，红外线波长：880nm 读数头滑动系统:垂直式五轴承滑动系
北京机床所 GS11 光栅线位移测量系统
测量系统:光栅周期：20μm（0.020mm）的光学玻璃尺 光学测量系统:透射式红外线光学测量系统，红外线波长：880nm 读数头滑动系统:垂直式五轴承滑动系
北京机床所 GS20 光栅线位移测量系统
测量系统:光栅周期：20μm（0.020mm）的光学玻璃尺 光学测量系统:透射式红外线光学测量系统，红外线波长：880nm 读数头滑动系统:垂直式五轴承滑动系
北京机床所 GS50 光栅线位移测量系统
测量系统:光栅周期：20μm（0.020mm）的光学玻璃尺 光学测量系统:透射式红外线光学测量系统，红外线波长：880nm 读数头滑动系统:45度五轴承滑动系统
北京机床所 GS13 光栅线位移测量系统
测量系统:光栅周期：20μm（0.020mm）的光学玻璃尺 光学测量系统:透射式红外线光学测量系统，红外线波长：880nm 读数头滑动系统:45度五轴承滑动系统
北京机床所 GS10 光栅线位移测量系统
测量系统:光栅周期：20μm（0.020mm）的光学玻璃尺 光学测量系统:透射式红外线光学测量系统，红外线波长：880nm 读数头滑动系统:垂直式五轴承滑动系
北京机床所 DWS4 超精密振动位移测量仪
量程:3.000/30.00/300.0μm 分辨率:0.002/0.02/0.2μm 最大非线性:<1% 频响范围:0-7.5kHz 零点漂移:<1%PerHour 仪器输出:0-±5.1V 0
北京机床所 JCS042-A 高精度圆柱度仪
主轴精度 径向跳动:(0.025+0.0003H)μm(H：测头至工作台面距离) 轴向窜动:0.025μm 垂直导轨移动直线性:0.4μm/100mm1.0μm/300mm 工作转台直径:2
北京机床所 JCS026 高精度圆度仪
主轴精度 径向跳动:(0.025+0.0003H)μm(H：测头至工作台面距离) 轴向窜动:0.025μm 转台直径:200mm 可测工件最大直径:430mm 可测工件高度:
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