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基恩士 3D轮廓测量仪VR-3000 系列

品牌：基恩士

生产商：基恩士

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基恩士 3D轮廓测量仪VR-3000 系列产品介绍

*1 以焦点位置为中心低倍侧 ±5 mm、高倍侧 ±0.5 mm 的范围

*2 高度测量的分辨率

*3 使用基恩士规定的基准规，以基恩士规定的测量模式进行测量时的数值(环境温度 23±1°C)

*4 需要拼接软件(VR-H2J)

*5 使用图像拼接用手动滑块(OP-87717)时

*6 VR-3050 需要 XYθ 载物台(OP-87715)

*7 Windows7 Professional 及 Ultimate。

型号				VR-3200
类型				工作头
适用控制器				VR-3000K
观察测量范围	大视野模式	15 英寸显示器上的倍率 12x	横(H)	24mm
			纵(V)	18mm
		15 英寸显示器上的倍率 25x	横(H)	12mm
			纵(V)	9mm
		15 英寸显示器上的倍率 38x	横(H)	8mm
			纵(V)	6mm
		15 英寸显示器上的倍率 50x	横(H)
			纵(V)	4.5mm
	高倍率模式	15 英寸显示器上的倍率 40x	横(H)	7.6mm
			纵(V)	5.7mm
		15 英寸显示器上的倍率 80x	横(H)	3.8mm
			纵(V)	2.9mm
		15 英寸显示器上的倍率 120x	横(H)	2.5mm
			纵(V)	1.9mm
		15 英寸显示器上的倍率 160x	横(H)
			纵(V)	1.4mm
变焦				1 至 4 倍
可测量高度				大视野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)^*1
显示分辨率				0.1 μm^*2
重复精度(б)	高度测量			0.5µm^*3
	宽度测量			大视野模式：1 µm、高倍率模式：0.5 µm^*3
测量精度	高度测量			±3 µm^*3
	宽度测量			大视野模式：±5 µm、高倍率模式：±2 µm^*3
连接功能				全自动(XY 自动控制+ 自动对焦)测量^4 自动调整、自动模板解析^4
载物台	XY 行程			184 × 88 mm(电动)
	Z 行程			90 mm(电动)
	旋转构造			±180°（试料旋转载物台）
	倾斜构造			±30° 以上
操作距离				75 mm
图像接收元件				1 英寸 400 万像素单色 C-MOS
投光镜头				双远心镜头 x2
受光镜头				双远心镜头
照明系统	观察用光源			LED 环形照明(红、绿、蓝)
	测量用光源			白色 LED
图像尺寸				1024 x 768 pix, 2048 x 1536 pix
数据处理部				基恩士指定专用 PC(OS 为 Windows7)^*5
额定值	电源电压			100 至240 VAC±10% 50/60 Hz
	消耗电量			150 VA
环境耐性	环境温度			15 至 30°C
	相对湿度			35 至80% （但无结露）
重量				28.0 kg