雷尼绍 TONiC 光栅系列

什么是TONiC？

TONiC是雷尼绍推出的超小型非接触式增量式光栅系统，速度可达10 m/s，与Ti接口配套使用时，在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。由于安装公差大，并且只需按下按钮即可进行校准，因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性，而且电子细分误差超低，通常小于±30 nm，从而有助于实现卓越的运动控制性能。

TONiC UHV将增量式光栅技术引入低至10-10 Torr的超高真空应用中，这类应用要求在紧凑的外形中保持高性能。

栅尺选项

直线栅尺用于提供直线位置信息 — 通常是X轴、Y轴或Z轴。

圆光栅用于提供角度位置信息以及对旋转元件进行运动控制。