七星华创 单管双温区立式炉

产品介绍：

设备用于半导体器件及集成电路制造过程中对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的热加工设备。

描述：

1. 关键件全部采用进口件，具有高可靠性。
2. 炉体采用四段加热，四点控温以确保双温区工作环境要求。
3. 采用进口智能控制器，可输出四个开关量，对炉温、阀门动作进行自动控制，并管理全部工艺时序，可编辑存贮九条工艺曲线。具有高抗干扰能力。
4. 具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。
5. 具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。