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上海楚荣 NDT-6JRI001 六维集成式工作台

品牌:上海楚荣
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上海楚荣 NDT-6JRI001 六维集成式工作台产品介绍

  NDT系列纳米级精密定位工作台,具有很高的位移精度,可作为微位移、微定位的基础平台应用于以下领域:在微型机械制造、超精密加工方面,可用于机械加工中的精密进给系统、微型机电系统的加工、封装及装配操作、精密刻划技术等。 在集成电路制造方面,在大规模集成电路制造中,可以用作X曝光机等设备中的超精密定位装置及高精度微进给装置。 在生物工程方面,用于完成细胞级的操作,真正实现生物操作工程化。 在医疗科学方面,可用于显微外科手术,大大减轻医生负担,缩短手术时间,提高成功率。 在光纤对接方面 可用于光纤之间的精密对准 另外,还可用于光学调整、扫描隧道显微镜、微刻蚀、微雕刻、电化学加工、对位移的精密补偿等方面。


主要特点:


·采用压电陶瓷驱动;
·纳米级位移分辨率;
·重复定位精度高;
·优良的频率响应特性;
·采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构;
·可内置LVDT或电阻应变片式微位移传感器,方便实现死循环控制;
·机体材料可选择铝合金、Invar合金等,适用于不同的应用场合;
·采用电火花、线切割等加工工艺,以严格保证加工精度;
·从一维到六维六十余种型号,已形成系列产品;
·采用先进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力。


结构尺寸图:


上海楚荣 NDT-6JRI001 六维集成式工作台技术参数

运动自由度:X Y Z,θx θy θz μm±20%直线运动范围:20mrad±20%转角范围:0.5nm位移分辨率:2nm重复定位精度:20N/μm±20%刚度:50Kg最大负载:5Hz±20%固有频率:1500℃工作温度范围:-20 ~ 80μ m±20%

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