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七星华创卧式PECVD平板型等离子增强化学气相淀积系统

品牌：七星华创

生产商：北京七星华创电子股份有限公司

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七星华创卧式PECVD平板型等离子增强化学气相淀积系统产品介绍

产品介绍：

供6"硅片淀积Poly-Si、Si₃N₄或SiO₂薄膜用。

描述：

1.用工业微机对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压力实现自动控制。
2.采用进口压力控制系统，闭环控制，稳定性高。
3.采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门，确保气路洁净度及气密性。
4.具有完善的报警功能及安全互锁装置。
5.具有超温报警与欠温报警、MFC报警、反应室压力报警、RF报警、高压空气压力报警、氮气压力报警等。
产品选型详见订货须知。

七星华创卧式PECVD平板型等离子增强化学气相淀积系统技术参数

产品参数结构形式：单管或多管卧式热壁型淀积薄膜：多晶硅、氮化硅、二氧化硅生产率：100片/炉膜厚度均匀性：片内 ≤±5％片间 ≤±7％批间 ≤±7％温度使用范围：100～400℃温区长度及精度：200～400℃ ±1℃/760mm系统极限真空度：优于0.7Pa(5×10[sup]-3[/sup]乇)工作压力范围：13Pa～300Pa 连续可调，闭环控制