沙迪克 线切割放电加工机：EXC100L

　　实现10纳米的最小驱动单位。因追求NANO而进化的超精密机床。

　　EXC100L不仅采用了本社制造的气压轴承“陶瓷制空气滑块”和直线电机驱动，并且世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺，实现最小驱动单位10纳米，并维持稳定的超精密加工。

　　产品特征

　　实现工作台最小驱动10纳米

　　通过采用本社制造的陶瓷制空气滑块和直线电机，世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺，实现工作台最小驱动单位10纳米。

　　标准搭载高性能加工液冷却装置

　　通过标准搭载高性能加工液冷却装置，维持稳定的超精密加工。

　　主要构造采用陶瓷

　　由于采用直线电机驱动方式，无需使用滚珠丝杠，避免了传送机构部件产生扭曲或磨损。此外，通过在主要构造材料中采用陶瓷材质，保证了长期稳定的高精度。

　　产品规格

　　各轴行程 X×Y×Z(mm)：100 × 120 × 100

　　U×V轴行程(mm)：20 × 20

　　锥度加工控制角度：±6°(板厚：60mm)

　　最大工件尺寸 宽×长×高(mm)：150 × 150 × 60

　　最大工件质量(kg)：10（包括夹具等）

　　机床主体尺寸 宽×长×高(mm)：2280 × 1830 × 1990

　　加工样品

　　使用φ0.02极细丝的微细齿轮加工

　　直线电机带来的伺服高响应性使齿轮的高精度加工成为可能。

　　电极丝直径：φ0.02

　　工件材质：G5(超硬)

　　工件板厚：6mm

　　模块：0.026

　　加工面粗糙度：0.70μmRz

　　加工时间：1小时15分

　　加工液：油 

　　极细丝实现的纤维喷嘴加工

　　使用φ0.03极细丝的纤维喷嘴加工（下孔φ0.065mm）。

　　电极丝直径：φ0.03

　　工件材质：SUS材料

　　工件板厚：0.8mm

　　沟宽：0.060、0.100mm

　　加工面粗糙度：0.60μmRz

　　加工时间：１孔6分、30分

　　加工液：?

　　极细丝实现的螺旋状加工

　　使用φ0.03的极细丝加工螺旋状的零部件。

　　电极丝直径：φ0.03

　　工件材质：铜

　　工件板厚：1.3mm

　　加工面粗糙度：0.80μmRz

　　加工时间：2小时13分

　　加工液：油